1.介绍
A堆积类型压电元素,此后指压力堆,是有平行的电子连接的许多稀薄的压力陶瓷板材集成的一个多层压力陶瓷专栏.压力堆沿纵向方向被扭屈,当电压被提供给它时,因为压力陶瓷板材纵向地被对立.因为它有强力量、高分辨率、快速的反应和小位移的特征压力堆是好行动世代的一个典型的开动的来源在几微米范围内.Dueto这些特征,压力堆作为开动的来源是可适用的对超精确度安置的阶段、扫描器和精确度机械中心[1–13].弯曲铰链实施的服从的机制是可适用的对纳诺行动阶段.服从的机制集成与开动的来源和高分辨率的压力堆
displacement传感器[7–13].服从的机制
play motio的角色
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