图7显示的是原子力显微镜下硅片在注入氮离子前后的三维立体和表面粗糙维度对比.在氮离子注入前的表面粗糙度是6 Å,而在植入后则缩减为3 Å.最底层的粗糙度是对样本植入了1×1017 N平方厘米的剂量后取得的.这种结果表明：通过等离子体源离子注入的氮离子会引起表面结构形态的变化,同时对三价铬表面的机械性能得以改善.
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