化学性质很稳定.不溶于水也不跟水反应.是酸性氧化物,不跟一般酸反应.气态氟化氢或氢氟酸跟二氧化硅反应生成气态四氟化硅.跟热的强碱溶液或熔化的碱反应生成硅酸盐和水.跟多种金属氧化物在高温下反应生成硅酸盐.
它不与除氟、氟化氢和氢氟酸以外的卤素、卤化氢和氢卤素以及硫酸、硝酸、高氯酸作用.氟化氢(氢氟酸)是唯一可使二氧化硅溶解的酸,生成易溶于水的氟硅酸：测其二氧化硅的比表面积.
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