解题思路：因为正方形的面积=边长×边长，所以1厘米×1厘米=1平方厘米，因为1分米×1分米=1平方分米，所以边长是1分米的正方形面积是1平方分米；因为1米×1米=1平方米，所以边长是1米的正方形面积是1平方米，据此即可解答．
边长是1厘米的正方形，面积是1平方厘米．边长为1分米的正方形，面积是1平方分米．面积为1平方米的正方形的边长是1米；
故答案为：1平方厘米，1分米，1米．
点评：
本题考点： 面积和面积单位．
考点点评： 此题主要考查正方形的面积公式的计算应用，熟记公式即可解答．
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