1986年开发了原子力显微镜(AFM).利用金刚石针尖制成以SiO2膜或Si3N4膜悬臂梁(其横向截面尺寸为100μm×1μm,弹性系数为0.1~1N/m),梁上有激光镜面反射镜.当针尖金刚石的原子与样品的表面原子间距离足够小时,原子间的相互作用力使悬臂梁在垂直表面方向上产生位移偏转,使入射激光的反射光束发生偏转,被光电位移传感器灵敏地探测出来.原子力显微镜对导体和绝缘体样品都适用,且其分辨力达到0.01nm(0.1A),可以测出原子间的微作用力,实现原子级表面观测.
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