如何用等厚干涉检验光学平面的表面质量
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需要使用样板,将被检面置于样板上,用相干光照射,用显微镜可观测到干涉条纹,测量干涉条纹的宽度或者弯曲的程度,再利用干涉公式换算即可得到被检面的凸起或凹陷程度.
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