硅和五氧化二磷反应温度
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五氧化二磷只是固态磷源,硅不会和其直接反应.五氧化二磷首先要分解出磷蒸气,而后磷蒸气作为杂质源一部分进入硅成为掺杂杂质,另一部分与硅表面形成磷硅玻璃.
掺杂温度不同,杂质浓度不同,因此需要根据掺杂要求查曲线得到反应温度,大致在9000—1300度左右.温度越高,反应形成的磷硅玻璃越多.
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