二次电子信号来自于样品表面层5～l0nm,电子与样品原子的核外电子作用,一部分能量转移到原子,导致原子中的一个电子被逐出而产生二次电子.二次电子信号强弱与样品表面粗糙度有关,可利用二次电子成像的模式-SEI模式观察样品表面形貌.
电子与样品原子的原子核发生弹性碰撞,电子方向发生改变,但无能量损失,这样的电子叫背散射电子.背散射电子信号强弱与样品原子的原子量有关,可利用背散射电子成像的模式-BSE模式观察样品表面元素分布情况.
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