碳化硅保护涂层及制造方法相同
摘要
阿多晶β-碳化硅薄膜或涂层,形成相同的组件,如太阳能电池的顶部,方法,作为一个极其坚硬的保护面,并作为防反射涂层.这直流磁控实现共同的无定形硅和碳溅射,形成一个表面上,如太阳能电池一碳化硅薄膜.薄膜,然后由一个脉冲照射能源,如准分子激光,合成的聚或.mu.c表面上SiC薄膜和生产.测试.--碳化硅.虽然这项发明方法在太阳能电池制造的主要应用,它的应用程序只要有一个极其坚硬的表面要求.
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