wafer size指的是wafer的直径,从3英寸,4英寸,5英寸,6英寸发展到目前主流的8英寸,12英寸.18英寸也有intel等公司牵头研发中,预计2012年出现.
1英寸=25.4毫米
6英寸=152.4毫米
8英寸=203.2毫米
12英寸=304.8毫米
实际业界直接就将6英寸wafer称作150mm wafer,将8英寸wafer称作200mm wafer,而将12英寸wafer称作300mm wafer.
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