我想知道液氮在半导体制造上的应用?
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应用例：
（1）在氧化、扩散等制造工艺过程中,设置液氮冷阱来去除气体中的水分.
（2）在扫描电子显微镜中,检测信号用的Si-Li探测器,必须一刻不离地采用液氮来冷却.
（3）有时为了检测元器件受冷热循环作用的影响效果,可采用液氮.
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