化学工艺流程
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（1）除去原料气中的氧气；除去生成的水蒸气
（2）这是放热反应,防止局部过热,导致硅熔化熔合成团,阻碍与N2的接触；将体系中的氧气转化为水蒸气,而易被除去（或将整个体系中空气排尽）
（3）硝酸
（4）洗涤后的滤出液呈中性
（5）9Si+4NaN3=燃烧=3Si3N4+4Na↑
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